介质:气体
气量:180~50000m3/h
真空度:取决于前级泵
材质:可做防腐
罗茨真空泵优点
1)泵腔内不发生气体压缩,加之运动件之间有间隙,对抽吸气体中的灰尘和水蒸汽不敏感,因此可抽出可凝性蒸汽。
2)泵腔内运动件无需用油润滑,能避免油蒸汽对真空系统的污染,有利于获得无油真空。
3)无需进排气阀,结构简单,噪声较低,泵腔内运动件互不接触,不易损坏,维护费用低。
4) 在很宽的压力范围内(10?10-2Torr),具有稳定的大抽速,能迅速排出突然放出的气体,弥补了油封机械泵和扩散泵的不足,很适宜作机械增压泵之用。在有水封或油封的情况下,能直排大气抽真空,也适宜作大抽速的粗真空泵。
5)设计先进,结构合理,转子间及转子与泵体间均有间隙,互不接触,不用润滑,摩擦损失小,可用较低的动力获得较大的抽速,有显著的节能效果。
6)转子有良好的几何对称性,工作平稳,能用提高转速的办法获得大抽速,从而做到结构紧凑、体积小、重量轻。
7)启动快,能在短时间内达到极限真空。
罗茨真空泵的缺点主要有:
1)抽除氢气的效果不如油增压泵髙,返扩散量大。
2) 由于转子表面是形状复杂的曲线柱面,对机械加工要求较高,检验也较困难,在制造装配上难度较大
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